1、空壓機及冷凍式干燥機應按其說明書定期維護 ;
2、高效除油器及過濾器內的過濾材料一般需一年更換一次(相對濕度大的地區建議半年更換) ;活性炭過濾器內的活性炭一般需要一年換-次(相對濕度大的地區建議半年更換) ;
3、氧分析儀器見說明書相關章節;
4、經常檢查PLC控制器及二位五通電磁閥接電、接氣部位是否正常，以免發生故障;
5、容器、儀表、壓縮機、管道、閥門及過濾器等系統原件應定期檢查其油脂殘留量及銹蝕情況，如不合格必須及時處理;
（工業制氧機）
6、氣動閥門、密封件，一般如有漏氣等損壞時，能修復的修復，不能修復的更換 ;
7、維護前必須將設備中的氧氣排空，并用無油干燥空氣或氮氣進行置換，使設備中的氧含量符合規定要求。 8、當排放容器管道的氧氣時，應將氧氣導放至安全區; 9、維修用的工具應清洗無油，維修完畢須全部清點無誤方可，維修工的衣著及場地也應清潔無油;
10、氧氣管道維修后應該用無油干燥空氣或氮氣徹底吹掃;
11、氧氣管道、閥門等與氧氣接觸的一切部件在停用后再投入使用前必須進行嚴格除銹，必要時還需進行脫脂(清洗劑為四氯化碳)
